三維激光直寫納米結(jié)構(gòu)制備的關(guān)鍵技術(shù)

　　三維激光直寫儀是納米壓印光刻和納米結(jié)構(gòu)制備的關(guān)鍵設(shè)備，它采用機(jī)械模具微復(fù)型原理來代替包含光學(xué)、化學(xué)及光化學(xué)反應(yīng)機(jī)理的傳統(tǒng)復(fù)雜光學(xué)光刻，從而進(jìn)行納米圖形加工和納米微結(jié)構(gòu)制造。

　　飛秒激光直寫光纖 Bragg 光柵（FBG）多個(gè)領(lǐng)域開創(chuàng)全新的傳感機(jī)遇，嚴(yán)苛的環(huán)境下對(duì)溫度，應(yīng)變，應(yīng)力，振動(dòng)，速度，加速度等多變量進(jìn)行測量。與傳統(tǒng) FBG 解決方案*不同，F(xiàn)sFBG用飛秒激光直接透過各類特種光纖涂覆層在光纖纖芯寫入光纖布拉格光柵，具有非常*的穩(wěn)定性。并可根據(jù)客戶要求參數(shù)進(jìn)行定制。

　　FBG 是制造在光纖纖芯上的周期性微結(jié)構(gòu)光學(xué)濾波器，F(xiàn)BG 反射纖芯里的特定波長(稱為Bragg波長)的傳輸光。當(dāng)FBG 區(qū)域的溫度和應(yīng)力狀態(tài)改變，則Bragg 波長實(shí)時(shí)相應(yīng)改變。FBG 的溫度測量精度可達(dá)0.1K，應(yīng)變測量精度可達(dá)1 微應(yīng)變。取樣速率從幾Hz 到幾kHz。一條光纖上可以制造多達(dá)幾十個(gè)FBG，各自以其Bragg 波長作為標(biāo)志獨(dú)立工作，構(gòu)成串行傳感器，即一根光纖完成信號(hào)發(fā)送，傳感，信號(hào)讀取，布線和維護(hù)簡潔，適于空間受限的多點(diǎn)溫度和應(yīng)變測量。

　　光纖Bragg光柵（FsFBG)傳感器性能優(yōu)勢

　　更穩(wěn)定：石英FsFBG可長期850℃，短時(shí)生存于1000℃，遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于常規(guī)FBG的300℃，如果是藍(lán)寶石，耐溫1700度。

　　更耐用：直接透過光纖涂覆層（丙烯酸酯，聚酰亞胺，硅膠，碳，有機(jī)改性陶瓷）刻珊，無需“剝離-再涂覆”

　　更靈活：無掩模板，無光敏化在摻雜/純石英/氟化物*/藍(lán)寶石*/多芯光纖的纖芯或者包層任意位置，刻制Bragg波長大于800nm，反射率0.01%-99%的FBG及超結(jié)構(gòu)-，啁啾-，反相FBG*.

　　更先進(jìn)：飛秒激光刻制的柵點(diǎn)折射率調(diào)制極大，柵區(qū)可短至毫米，實(shí)現(xiàn)點(diǎn)傳感，可能解決溫度-應(yīng)變交叉敏感。

　　應(yīng)用在高氫濃度，高濕度環(huán)境 (無氫暗化和氫腐蝕現(xiàn)象)

　　FsFBG及其陣列性價(jià)比遠(yuǎn)優(yōu)于任何常規(guī)FBG，一柵起訂，裸纖到系統(tǒng)一站解決