淺析微透鏡陣列的加工技術(shù)

　　隨著微納技術(shù)的發(fā)展，我們會(huì)看到很多非常有意思的一些結(jié)構(gòu)（如抗反射、抗菌結(jié)構(gòu)、菲尼爾透鏡，納米光柵結(jié)構(gòu)等），在我們的實(shí)際生活中得到廣泛的應(yīng)用，同時(shí)也為我們的生活帶來(lái)了很多變化如，裸眼3D、AR/VR技術(shù)等。

　　微透鏡結(jié)構(gòu)可以應(yīng)用在防偽膜中的動(dòng)感膜、顯示中的裸眼3D、Micro-LED等。今天我們就泛泛的探討一下微透鏡陣列的加工技術(shù)解析。

　　微透鏡加工方法：

　　機(jī)械加工法

　　這是一種比較早期的微透鏡加工方法，其優(yōu)點(diǎn)是簡(jiǎn)單易行，利用高精度CNC工具可以挖出對(duì)應(yīng)的微透鏡結(jié)構(gòu)，或者利用更為精密的單點(diǎn)金剛車(chē)工具挖出微球凹坑結(jié)構(gòu)，當(dāng)然前面的加工技術(shù)都是基于模具的加工，再配合注塑工藝或者熱壓成型獲得帶有微透鏡陣列的板材或者型材。

　　熱回流法

　　熱回流是當(dāng)前比較流行的一種微透鏡陣列結(jié)構(gòu)的加工方法。其過(guò)程是利用光刻膠曝光顯影后形成圓柱或者特定形狀的柱子陣列結(jié)構(gòu)，通過(guò)加熱后讓光刻膠達(dá)到并超高其玻璃態(tài)轉(zhuǎn)變溫度后軟化，在其表面張力的作用下形成微透鏡陣列（如下圖2所示）。再配合電鑄工藝實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)向模具的轉(zhuǎn)化，最后利用注塑或者納米壓印的方式進(jìn)行大批量的復(fù)制生產(chǎn)。這里需要說(shuō)明的是，新一代PhableR紫外光刻機(jī)已經(jīng)可以使用紫外光源獲得百納米以下的周期性結(jié)構(gòu)，這意味著，原理上我們可以獲得納米口徑的微透鏡陣列結(jié)構(gòu)。另外，對(duì)光刻熟悉的人可能會(huì)比較關(guān)注高溫自處理后光刻膠去除問(wèn)題，這里我們可以選擇使用成熟的Alpha plasma微波等離子去膠機(jī)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻膠的有效去除，且不損傷金屬模具。