淺析微透鏡陣列的加工技術

　　隨著微納技術的發展，我們會看到很多非常有意思的一些結構（如抗反射、抗菌結構、菲尼爾透鏡，納米光柵結構等），在我們的實際生活中得到廣泛的應用，同時也為我們的生活帶來了很多變化如，裸眼3D、AR/VR技術等。

　　微透鏡結構可以應用在防偽膜中的動感膜、顯示中的裸眼3D、Micro-LED等。今天我們就泛泛的探討一下微透鏡陣列的加工技術解析。

　　微透鏡加工方法：

　　機械加工法

　　這是一種比較早期的微透鏡加工方法，其優點是簡單易行，利用高精度CNC工具可以挖出對應的微透鏡結構，或者利用更為精密的單點金剛車工具挖出微球凹坑結構，當然前面的加工技術都是基于模具的加工，再配合注塑工藝或者熱壓成型獲得帶有微透鏡陣列的板材或者型材。

　　熱回流法

　　熱回流是當前比較流行的一種微透鏡陣列結構的加工方法。其過程是利用光刻膠曝光顯影后形成圓柱或者特定形狀的柱子陣列結構，通過加熱后讓光刻膠達到并超高其玻璃態轉變溫度后軟化，在其表面張力的作用下形成微透鏡陣列（如下圖2所示）。再配合電鑄工藝實現結構向模具的轉化，最后利用注塑或者納米壓印的方式進行大批量的復制生產。這里需要說明的是，新一代PhableR紫外光刻機已經可以使用紫外光源獲得百納米以下的周期性結構，這意味著，原理上我們可以獲得納米口徑的微透鏡陣列結構。另外，對光刻熟悉的人可能會比較關注高溫自處理后光刻膠去除問題，這里我們可以選擇使用成熟的Alpha plasma微波等離子去膠機來實現對光刻膠的有效去除，且不損傷金屬模具。