激光直寫制作光刻掩膜板繪圖容易出現哪些錯誤

DLW-RD-Photonics是一款專為光子芯片集成領域設計的高性能激光直寫設備，擁有高精度納米級3D加工能力與高精度定位對準能力。設備配備高精度的共聚焦掃描系統和熒光探測系統，確保在光子芯片表面精確對準3D打印。Nanostudio軟件配備功率補償功能，可實現在芯片端面的高精度加工，消除聚焦遮擋區域的影響，為光子芯片集成領域的微細結構提供精準打印。